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PARYLENE COATING TECHNOLOGY Parylene coating system P260 www.plasma.de www.plasma.com
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Deposited materials: parylene N, C, D, F, HT Range of thicknesses: 0,05 to 100 micrometers Dimensions: width approx. 2600 mm depth approx. 1000 mm height approx. 2000 mm Pyrolysis: Gas injection: Chamber: Carrousel: Cold trap: Pumping system: Ultimate pressure: Control: Connections: Exhaust: 4 kW / max. 1000 °C homogenous dispersal system diameter: 640 mm, height: 800 mm diameter: 560 mm, height: 650 mm Liquid N2 dry pump system suction power 1800 m3/h 1 x 10 3 mbar full PC control system s oftware based on Windows 3 phases / 400 V AC at 32 A / 50-60 Hz Compressed air: 6 bars oil free...
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