Diffusion Processing Automation System 规格参数（Ｓｐｅｃｉｆｉｃａｔｉｏｎ） 型号（Model）: RTA-DIA20000HP-R/L 产能（Throughput）: 20000pcs/h 碎片率（Breakage rate）：≤0.02% 上线率（Uptime）: ≥98.5% 技术特点（Ｆｅａｔｕｒｅｓ） 上下料：花篮 Loading and unloading: Cassette Output: quartz boat Optional online square resistance Optional support MES interface and remote debug function OEE statistics & Energy consumption analysis

PECVD Processing Automation System 规格参数（Ｓｐｅｃｉｆｉｃａｔｉｏｎ） 型号（Model）: RTA-PE-TIA7200L1/L2 产能（Throughput）: 7200pcs/h 碎片率（Breakage rate）：≤0.05% 上线率（Uptime）: ≥98.5% 技术特点（Ｆｅａｔｕｒｅｓ） 上下料：花篮或堆叠 Loading and unloading: Cassette or Stack Output: graphite boat Boat temperature monitoring Optional online color inspection Optional support MES interface and remote debug function

PECVD Processing Automation System 规格参数（Ｓｐｅｃｉｆｉｃａｔｉｏｎ） 型号（Model）: RTA-ALD6000L/UL 产能（Throughput）: 6000pcs/h 碎片率（Breakage rate）：≤0.05% 上线率（Uptime）: ≥98.5% 技术特点（Ｆｅａｔｕｒｅｓ） 上下料：花篮或堆叠 Loading and unloading: Cassette or Stack Output: graphite carrier box Optional support MES interface and remote debug function

Wet Processing Automation System 规格参数（Ｓｐｅｃｉｆｉｃａｔｉｏｎ） 型号（Model）: WEA5000L/uL, WPA5000L/uL 产能（Throughput）: 5500pcs/h 碎片率（Breakage rate）：≤0.03% 上线率（Uptime）: ≥98.5% 技术特点（Ｆｅａｔｕｒｅｓ） 输入：花篮或堆叠 Input: Cassette or Stack Output: kinds of cassette Optional online provides high precision weighting Optional match 5,8,10 lanes Optional support MES interface and remote debug function

Dual Lane Tester and Sorter Automation 产品简介（Ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ） 该自动化设备同时适用于125mm和156mm规格的硅片，兼容不同品牌的印刷线工艺设备。 This equipment is used for 125mm/156mm wafers, compatible with different brands of printer line process equipment. 型号（Model）: RTA-SRT-6000 产能（Throughput）: 6000pcs/h 碎片率（Breakage rate）：≤0.05% 上线率（Uptime）: ≥98.5% 技术特点（Ｆｅａｔｕｒｅｓ） 在线式双道设计 Online Dual Lanes Design Online Integrated with AOI & IV Tester Incoming cell automatic detection and throwing function Linear motor quick pick and place function Stand-alone four-station platform High speed and high p

Dual Lane Tester and Sorter Automation 产品优势（Ａｄｖａｎｔａｇｅ） 高精度定位功能 High Accuracy 高效低碎片率 High efficiency and low breakage rate 智能穿梭机械臂 Intelligent shuttle robot arm 5Mega Pixel Smart Camera 500万CCD智能相机 定位精度和重复性小于10um ＠3σ Positioning Accuracy and Repeatability less than 10um＠3σ High resolution linear motor 高分辨率直线电机 上线率大于98.5% 碎片率小于0.05% Output> 140,000 pcs/day 每天产出>14万片 6000片/小时x98%x24=141120片/天 6000pcs/hourx98%x24=141120pcs/day 多轴穿梭臂设计，独立控制 绝对值编码器设计 快速更换料盒 Multi-axis shuttle arm design, independent control Absolute encoder design Quick stack switch 可选（Ｏｐｔｉｏｎｓ） AOI正面或背面检测 IV正面或背面检测，可选品牌HALM或WAVELAB...