Low pressure plasma system / Niederdruck Plasmaanlage (e.g. before bonding, soldering or gluing) (z.B. vor dem Bonden, Loten Oder Verkleben) Low pressure plasma system Niederdruck Plasmaanlage (e.g. before printing, varnishing or gluing) (e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE) Coating of surfaces - plasmapolymerization (e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers) Application areas • Automotive industry • Elastomer industry • Medical technology • Plastics industry • Semiconductor industry • Small scale manufacturing • Sensor technology • Textile treatment (z.B. vor dem Bedrucken, Lackieren Oder Verkleben) (z.B. Strukturierung von Silizium Oder Anatzen von PTFE) durch Plasmapolymerisation (z.B. Abscheidung von hydrophoben / hydrophilen Schichten) PTFE surface, before and after plasma Hier sehen Sie in einem Beispiel wie mit Plasma die Oberflache von PTFE verandert wird. PTFE surface: Before plasma treatment PTFE surface: After plasma treatment PTFE-Oberflache: Nach der Plasmabehandlung Find us on the web at www.plasma.de / Besuchen Sie uns im Internet unter www.plasma.de Diener electronic GmbH + Co. KG Plasma-Surface-Technology D - 72224 Ebhausen (Germany) E-Mail : [email protected]

Low pressure plasma system Niederdruck Plasmaanlage Basic configuration - The cabinets vary depending on the components / options - Chamber volume: depending on the version 4 - 15 liters - Power supply: 230 V AC for table top system, 400 V AC / 3 phases for stand alone system - Die Gehäuse variieren je nach Komponenten / Optionen - Kammervolumen: je nach Version 4 - 15 Liter - Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät, 400 V / 3 Phasen für Standgerät - Needle valves - Mass-Flow-Controller (MFCs) - Nadelventile - Mass-Flow-Controller (MFCs) Spare parts sets, pressure gauge, corrosive gas version,...