Low pressure plasma system / Niederdruck Plasmaanlage (e.g. before bonding, soldering or gluing) (z.B. vor dem Bonden, Loten Oder Verkleben) Low pressure plasma system Niederdruck Plasmaanlage (e.g. before printing, varnishing or gluing) (e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE) Coating of surfaces - plasmapolymerization (e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers) Application areas Automotive industry • Elastomer industry • Medical technology • Plastics industry • Semiconductor industry • Small scale manufacturing • Sensor technology • Textile treatment example of a water droplet textile surface. einem Beispiel einen handeltem Textilgewebe. Fabric - untreated Gewebe - unbehandelt (z.B. vor dem Bedrucken, Lackieren Oder Verkleben) (z.B. Strukturierung von Silizium Oder Anatzen von PTFE) durch Plasmapolymerisation (z.B. Abscheidung von hydrophoben / hydrophilen Schichten) Fabric - hydrophilic Gewebe - hydrophi Fabric - hydrophobic Gewebe - hydrophob Diener electronic GmbH + Co. KG Plasma-Surface-Technology D - 72224 Ebhausen (Germany) E-Mail : [email protected] Find us on the web at www.plasma.de / Besuchen Sie uns im Internet unter www.plasma.de

Low pressure plasma system Niederdruck Plasmaanlage Basic configuration - The cabinets vary depending on the components / options - Chamber volume: depending on the version 1.9 - 6 liters - Power supply: 230 V AC for table top system, 400 V AC / 3 phases for stand alone system - Die Gehäuse variieren je nach Komponenten / Optionen - Kammervolumen: je nach Version 1,9 - 6 Liter - Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät, 400 V / 3 Phasen für Standgerät - Needle valves - Mass-Flow-Controller (MFCs) - Nadelventile - Mass-Flow-Controller (MFCs) Spare parts sets, pressure gauge, corrosive gas version,...