Atto/Zepto
2Pages

Applications & applications area Anwendungen & Anwendungsgebiete Applications Plasma technology can be used on different materials such as glass, metal, plastics, textiles and ceramics. The following applications are possible with the Zepto/Atto • Surface Cleaning (e.g. before bonding, soldering or gluing) Organic remains are chemically transformed during the plasma process. The surface is subjected to a fine cleaning. Nearly all materials can be cleaned with an oxygen plasma. • Surface Activation (e.g. before printing, varnishing or gluing) Plasma activation is used to transform nonpolar surfaces such as plastics (PDMS, PE, PP, ...) into adhesive surfaces. The surface energy is increased without damaging the material’s properties. • Surface Etching (e.g. before microstructuring of silicon or etching of PTFE) Teflon surfaces must be etched in order to become hydrophilic. Plasma etching is performed without aggressive chemicals. • Surface Deposition - plasmapolymerization (e.g. depositing of hydrophobic / hydrophilic layers) Monomers with a suitable vapor pressure are implemented and used to produce various effects on the surface. Applications Area Analysis (SEM,TEM) Archaeology Automotive industry • Elastomer industry Medical technology Plastic industry • Research and development • Semiconductor industry Anwendungen Die Plasmatechnologie kann auf verschiedensten Materialien angewendet werden wie z.B. Glas, Metall, Kunststoffe, Textilien und Keramiken. Folgende Anwendungen sind mit dem Zepto/ Atto moglich: • Reinigen von Oberflachen (z.B vor dem Bonden, Loten oder Verkleben) Organische Reste werden im Plasma chemisch umgesetzt. Die Oberflache erhalt eine Feinstreinigung. Fast alle Oberflachen konnen im Sauerstoffplasma gereinigt werden. • Aktivierung von Oberflachen (z.B. vor dem Bedrucken, Lackieren oder Verkleben) Um unpolare Oberflachen wie Kunststoffe (PDMS, PE, PP, ...) z.B. kleb-oder lackierfahig zu machen, konnen diese mittels Plasma aktiviert werden. Dabei wird die Oberflachenenergie erhoht, ohne dass das Material geschadigt wird. • Atzen von Oberflachen (z.B. Anatzen von PTFE) Um PTFE verklebbar zu machen, muss die Oberflache angeatzt werden. Im Plasma ist dies ohne aggressive Medien moglich. • Beschichten von Oberflachen durch Plasmapolymerisation (z.B. Abscheidung von hydrophoben / hydrophilen Schichten Durch Verwendung einer Monomerflasche konnen auch flussige Monomere, deren Dampfdruck hoch genug ist, eingesetzt werden, was viele verschiedene Effekte ermoglicht. Anwendungsgebiete Analytik (REM, TEM) • Archaologie Automotive • Forschung und Entwicklung • Halbleitertechnik Kleinserienfertigung • Kunststofftechnik • Medizintechnik Zepto/Atto dienerPlasma-Surface-Technology Low Pressure Plasma Systems Niederdruck Plasma Systeme diener Find us on the web at www.plasma.com / Besuchen Sie uns im Internet unter www.plasma.com diener Plasma-Surface-Technology Diener electronic GmbH + Co. KG Nagolder Str. 61 D - 72224 Ebhausen (Germany) Deposition / Beschichten Etching / Atzen

Zepto Technical Data Technische Daten Technical Data Technische Daten Weight: approx. 15 kg (33 lbs) without pump Gewicht: ca.15 kg (ohne Pumpe) Weight: approx. 20 kg (44 lbs) without pump Gewicht:ca. 20 kg (ohne Pumpe) Plasma Chamber: 0 105 mm (4.1 in), L 300 mm (11.8 in) Chamber volume: approx. 2.6 litres (0.69 gallons) Gas Connection: Two gas channels via needle valve without magnet valve opening Plasma Power Supply: 40 kHz/100 W, infinitely variable or optional 13,56 MHz/50 W Electric Control: Manual, Timer, process time Connections: Gas: 6 mm Swagelok (0.24 in) Pipe: 4 mm in, 6 mm out...