P i ezo

•

Nano

•

Pos i t i on i ng

P P P P i i i i ezo-Aktoren ezo-Aktoren ezo-Aktoren ezoaktoren P P P P i i i i ezo-Nano-pos ezo-Nano-pos ezo-Nano-pos ezo-Nano-pos i i i i t t t t i i i i on on on on i i i i ersysteme ersysteme ersysteme ersysteme P P P Akt i i i i ezo-Strahlsteuerung ezo-Strahlsteuerung ezo-Strahlsteuerung i ve Opt i k /P ezok i ppsp i egel Tutor Tutor Tutor Tutor i i i i um um um um : : : : Nanopos Nanopos Nano-pos Nanopos i i i -t -t -t i i i on on on i i i i t eren m eren m eren m i on i eren m i i i t P t P t P i i i ezos ezos ezos i t P i ezos Kapaz Kapaz Kapaz Kapaz i i i i t t t t i i i i ve Sensoren ve Sensoren ve Sensoren ve Sensoren P P P P i i i i ezoelektron ezoelektron ezo-Elektron ezoelektron i i i k k k i k Hexapod / M Hexapod / M Hexapod / M Hexapoden / M i i i i kropos kropos kropos kropos i i i i t t t t i i i i on on on on i i erung erung i i erung erung P P P Faserpos i i i ezo-Motoren ezo-Motoren ezo-Motoren i t i on i erung Faserpos Faserpos Faserpos Motorsteuerungen i i i t t t i i i on on on i i i erung erung erung Motorsteuerungen Motorsteuerungen Motorsteuerungenen P i ezomotoren /Stellt i sche Index
M-413 l i near stage ser i es, d i mens i ons i n mm The gu i d i ng accuracy of the M-414–200 mm of travel shown here– i s better than 15 arcseconds (75 µrad)

7a-17