PiezoPositioner,PiezoZStage,Z piezostage

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Piezo actuators / Precision Piezo Positioners

Contents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2Recommended Amplifier/Controller Reference List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-3Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4 Applications for Piezo Actuators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5 Piezo Actuator Technology Experience . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-6 Selection Guide Piezo Actuators and Piezoceramics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-8Piezo Stack, -Bender, -Shear, -Tube Actuators with no Casing P-249 Miniature Open-Loop Piezo Actuators (HVPZT) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-10 PL022, PL033, PL055 PICMA
® Chip Monolithic Multilayer Piezo Actuators (LVPZT) . . 1-11P-882 – P-888 PICMA
® High-Performance Monolithic Multilayer Piezo Actuators (LVPZT) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-12PL112 – PL140 PICMA
® Multilayer Piezo Bender Actuators (LVPZT) . . . . . . . . . . .1-14P-871 Closed-Loop, High-Deflection PICMA
® MultilayerPiezo Bender Actuators (LVPZT) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-16P-007 - P-056 PICA™-Stack Piezoceramic Actuators—Versatile Piezoelectric Power (HVPZT) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-18 P-010.xxP, P-056.xxP PICA™-Power High-Level Dynamics Piezo Actuators (HVPZT) . .1-20P-010.xxH, P-016.xxH, P-025.xxH PICA™-Thru Piezo Stack Actuators with Aperture (HVPZT) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-22P-111 – P-151 PICA™-Shear Piezo Actuators – Compact Multiaxis Motion . . . . . .1-24PT120 – PT140 Piezoceramic Tubes (HVPZT) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-26 Piezo Disk Translators P-286, P-288, P-289 Piezo Disk Translators (HVPZT) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-28 Small Piezo Actuators with Steel Casing and no Preload P-810, P-830 Small-Load Open-Loop Piezo Translators (LVPZT) . . . . . . . . . . . . . . .1-30P-820 Small-Load Open-Loop Piezo Translators (LVPZT), Thread-Mount . . . . . . . .1-32P-250 Micrometer-Mountable Open-Loop Piezo Translator (HVPZT) . . . . . . . . . . .1-33 Preloaded Piezo Stack Actuators for Medium Loads, with Sensor (optional) P-840, P-841 Preloaded Open- & Closed-Loop Piezo Translators (LVPZT) . . . . . . .1-34 Preloaded High-Load Piezo Stack Actuators, with Sensor (optional) P-842, P-843, P-844, P-845 Preloaded Piezo Actuators (LVPZT) with Sensor Option . .1-36P-170, P-178 Open- & Closed-Loop Piezo Translators (HVPZT) . . . . . . . . . . . . . . . .1-38P-239, P-244, P-245 Preloaded Open- & Closed-Loop Translators (HVPZT) . . . . . .1-40 Preloaded Ultra High-Load Piezo Stack Actuators, with Sensor (optional) P-242, -3, -6, -7 Preloaded High-Load Piezo Actuators (HVPZT) with Sensor Option . .1-42 Options and Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-44Notes (Technical Data) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-46Mounting and Handling Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-48Ultra-High-Precision Actuators with Flexure Guidance and Direct Metrology Sensors P-753 LISA Piezo NanoAutomation
® Stages / Actuators with Direct Metrology . . .2-26Long-Travel, Flexure Guided Piezo Actuators P-783 Piezoelectric Z-Nanopositioning Stage / Actuator with Direct Metrology . . .2-44P-290 Long-Travel Piezoelectric Z-Nanopositioning Flexure Stage / Actuator . . . .2-46P-854 PiezoMike: Piezoelectric Micrometer Drive . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-86
© PI 1998-2005. Subject to change w/o notice. Cat 118 05/09.17 Linear Piezomotors and Long-Travel Actuators, see p. 10-2
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