Pre-Heaters, Dryers and Laboratory Ovens - Ihne & Tesch - #39

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39 Ihne &Tesch GmbH · D-58507 Lüdenscheid · Telefon +49(0)23 51/6 66-0 · Keller, Ihne &Tesch KG · D-68623 Lampertheim · Telefon +49(0)62 41/9 88 08-0 Ihne &Tesch GmbH · D-90441 Nürnberg · Telefon +49(0)911/9 66 78-0 · Keller, Ihne &Tesch GmbH · A-3350 Haag · Telefon +43(0)74 34/4 38 80 Celtic S.A.R.L. · F-77290 Mitry-Mory · Téléphone +33(0)160 212180 · KIT Electroheat Limited · UK-Hants SO24 0RE · Phone +44(0)19 62 73 88 00 3.2 Beispiele für kundenspezifische Temper- und Trockenschränke TRUS/S (Fortsetzung) Customized examples for TRUS/S Pre-Heating Ovens and Dryers (continuation) Exemples de variantes d‘armoires de stabilisation et de séchage TRUS/S (suite) Esempi di versioni diverse di armadi di malleabilizzazione ed essiccazione TRUS/S (seguito) Konzeption und Fertigung der Trockenschränke optimal nach Kundenspezifikation, z. B.: Trockenkammer für Stickstoffbetrieb Einsatzgebiet: - Thermische Behandlung von Waferscheiben für die Halbleiterfertigung Merkmale: - Elektronische Programmregelung mit KS 94 (Einsatztemperatur bis max. 550°C) mit 3 Programmen - Programmauswahl und -start über separate Steuerschalter - Elektronischer Übertemperaturschutz - Heizleistung 10kW - Leistungsschaltung Solid State Relais - Heizbandüberwachung für die Keramikheizung (max. 700°C) - Istwertausgang über Flanschdose - Trockenkammer aus Edelstahlrohr Mat.1.4571 mit montiertem Heiz-Kühl-Keramik-System - Doppelgebläse zur schnellen Abkühlung der Innenraumtemperatur - Durchflussmengenmesser für Stickstoff- und Sauerstoffanteil mit 2/2 Wegeventilen. Die Ansteuerung erfolgt über Rastschalter oder Programmregler Concetto e costruzione degli armadi essiccatori ottimale e in funzione delle specifiche del cliente, ad es.: Camera di essiccazione per esercizio con azoto Tipologie di impiego: - Trattamento termico di wafer disc per fabbricazione di semiconduttori Caratteristiche: - Programmatore elettronico KS 94 (temperatura di esercizio fino a 550°C max.) con 3 programmi - Selezione e avviamento del programma per mezzo di apparecchi di comando separati - Protezione elettronica contro i surriscaldamenti - Potenza termica 10 kW - Interruttore di potenza: relais allo stato solido - Controllo della resistenza (max. 700°C) - Uscita del valore reale tramite cassetta a flangia - Camera di essiccazione in tubo in acciaio inox, mat. 1.4571 con sistema combinato di riscaldamento - raffreddamento ceramico - Doppio ventilatore per raffreddamento rapido delle temperature all’interno - Misuratore di portata per tenore di azoto e di ossigeno con valvole a due vie da 2/2. L’azionamento viene eseguito tramite un interruttore ad arresto o tramite il programmatore Conception optimale et fabrication selon désidérata des clients, par ex.: Armoire de séchage pour un traitement d‘azote Domaines d‘application: - Traitement thermique de plaques pour circuits intégrés destinées à l‘industrie électronique Spécificités: - Programmateur électronique KS94 (température de croisière jusqu’à 550°C maxi.) avec 3 programmes - Choix du programme et démarrage par circuit indépendant - Limiteur de température - Puissance installée 10KW - Relais de puissance Solid State - Surveillance fonction des résistances (maxi 700°C) - Température réelle commutée par prise - Chambre en tube d‘acier AISI 316 TI avec ensemble de chauffage/refroidissement en céramique - Double ventilateur pour refroidir rapidement l‘intérieur de l‘enceinte - Mesure de volumes azote et oxygène avec soupape 2/2 Régulation par levier moletté ou par programmateur. Optimum design and construction to customer specification, e. g.: Drying chamber with nitrogen purging Operating area: - Thermal treatment of wafer discs for semi conductor production Specification: - Electronic programme controller KS 94 (operating temperature up to 550°C max.) with 3 programmes - Programmable start and programme selection - Electronic protection against over temperature - Heat capacity 10kW - Circuit breaker solid State relay - Band Heater monitoring (max. 700°C) - Actual value exit over flange-box - Stainless steel cylinder (1.4571) drying chamber with heat cool ceramic system - Double blower for fast cooling of the interior temperature - Flow metering for both nitrogen and oxygen with 2/2 to road valves. The control takes place about rest switch or program control