SEC-Z500X series
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High Performance Mass Flow Controller utomotive Test Systems I Process & Environmental I Medical I Semiconductor I Scienti

반도체 제조 장비의 주요 부품 MASS FLOW CONTROLLER. 그 성능과 품질은 반도체의 디바이스 퀄리티 그 자체에 영향을 줄 정도로 중요한 역할을 담당하고 있습니다. 그런 엄격한 업계에 있어 고품질로 기능성을 높인 제품을 계속해서 시장에 투입, 전 세계 30% 이상의 쉐어를 자랑하고 있는 호리바 에스텍에서 종래의 개념을 깨뜨린 완전히 새로운 타입의 MASS FLOW CONTROLLER가 탄생하였습니다. [SEC-Z500X] 이제가지 가스의 종류 별, 혹은 유량 별로 필요했던 MASS FLOW의 기능을 집약하여, 고객이 스스로 필요로 하는 MASS FLOW에 고객 스스로 사양 변경을 할 수 있습니다. 또한, RoHS 규제에 대응 하여 환경보전, 기업가치의 향상에도 역할을 다하고 있습니다. 미래의 매력이 넘치는 고성능, 고부가가치의 [X]. 바로 반도체 업계의 미래를 책임질 MASS FLOW의 탄생입니다. 호리바에스텍은 전세계의 장치 메이커로부터 지지 받고 있습니다. 이것은 최고 수준의 품질을 가진 신뢰성 높은 제품을 계속 공급하고 있다는 증거입니다. 교토아소미국의 3 거점 체제로 안정적인 공급을 실현 본사 기능을 가지는"교토", 최신 생산 설비를...

Flow rate 프로세스에 사용되는 가스는 여러가지 물성을 가지고 있습니다. 이 때문에 SEC-Z500X 시리즈가 채용한 유량 교정 기능은, 각각의 프로세스 가스에 있어서 유량 특성을 유량 레인지마다 고도로 계측한 데이터로 교정을 실시합니다. 방대한 계측 데이터와 신뢰성 높은 유량 센서, 최신의 교정 기술에 의해 고정도의 프로세스 가스 유량 제어를 실현했습니다. SEC-Z500X 시리즈의 유량 교정은 미국 표준 기술국(NIST: National Institute of Standards and Technology) 와의 traceability가 되고 있습니다. NIST 표준에 맞는 유량 기준 기기로 유량 교정을 실시하고 있습니다. 실현했습니다. 또, 다종에 걸치는 프로세스 가스 유량을 고정도 유량 기준 시스템을 이용해 계측해, 프로세스 가스 유량 정도의 향상을 도모하고 있습니다. 다항식 근사 곡선에 의한 고도의 보정을 사요하여으로, 전유량 제어영역에 있어서 유량 정도의 고정도화를 일본, 미국의 2 거점에는 최신의 고정밀도 유량 기준 시스템을 설치하고 있습니다. 빌드업법에 따른는 시스템은, 독성이 높은 가스나 활성도 높은 가스등의 프로세스 가스 유량을...

전유량영역에서의 고속 응답 Full range 1초 이내(T98) 신개발 Variable PID 알고리즘을 탑재, 전유량 제어영역에 있어 1초 이내의 고속 응답을 실현했습니다. VariablePID 알고리즘은, 설정 유량의 변위에 응한 PID 계수를 연속적으로 변화하는 것입니다. 풀스케일 유량 가스종의 변경 후도 고속 응답을 실현하고 있습니다.

멀티가스 멀티레인지 대응 유저 사이드에서의 가스종 변경, 풀스케일 유량 변경을 가능하게 했습니다. 사양 변경을위해 전용의 소프트웨어(Z500 Configuration Software)를 준비되어 있습니다. 매스 플로우 콘트롤러를 가스 패널이나 배관으로부터 Easy spec change at customer 교정 가스의 풀스케일 유량치(FS치)는, 프로세스 가스 각각의 열전도율의 차이에 의해, 같은 FS치여도 MR MG번호가 다를 수가 있습니다. 보다 고정도의 유량 교정을 해하기 위하여 폐사에서는 아래와 같이 MR MG번호를 라인 업 하고 있습니다. 가스 풀스케일 유량의 일례 떼어내는 일없이, 사양을 변경할 수 있습니다. 또, 고객의 예비품으로 관리 하고 있는 MFC의 저감과 코스트 시간의 삭감을 제안할 수 있는 기능입니다.

멀티 레인지 멀티 가스 기능은, Configuration Software에 의해 행해집니다. 본 소프트는 사용되는 가스종, 유량 레인지를 입력하는 것으로"MR MG번호"를 선택할 수 있는 기능이나, 고객의 수입 검사시 행해지는 N2가스에 의한 유량 측정시에 편리한"N2가스 환산 기능"을 가지고 있습니다. 폐사에서는 본소프트의 정확한 사용을 위하여로, 조작 설명 세미나를 개최하고 있습니다. 당세미나의 개최에 대해서는 폐사에 의뢰 주시기 바랍니다. RS232C 케이블 Serial Converter PC (Windows) SEC-Z500 Configuration Software 사용에 관해서는 폐사 개최 세미나를 수강해 주십시요 통신변환기 케이블 통신변환기 변환장치 통신변환기 RS232C케이블 케이블 통신 케이블 시리얼변환기 시리얼 포트가 없는 PC에 필요 당사에 문의해 주시기바랍니다. 라벨프린터 자세한 것은 문의부탁드립니다.

제품서양일람표 디지털/아날로그 통신모델 매스플로우콘트롤러 매스플로우미터 외부Leak Rate 최대동작 사용압력 SECSEF-Z512MGX, Z522MGX, Z522MGXN, Z532MGX, Z542MGX는, 유저 사이드에서 전용 소프트를 이용해 가스종, 풀스케일의 변경이 가능합니다. 유량 정도의 보증 온도는, SEMI 규격 E56-1296에 준거하고 있습니다. MR, MG번호의 풀스케일치에 대한 정도입니다. SCCM, SLM는 가스 유량(mL/min, L/min, at 0℃101.3 kPa)을 나타내는 기호입니다. DeviceNetTM 통신 모델 매스플로우콘트롤러 매스플로우미터 최대동작 사용압력 외부Leak Rate 접가스부재질 표준피팅 설치자세 유량제어범위 유량정도 SECSEF-Z512MGX, Z522MGX, Z522MGXN, Z532MGX, Z542MGX는, 유저 사이드에서 전용 소프트를 이용해 가스종, 풀스케일의 변경이 가능합니다. 유량 정도의 보증 온도는, SEMI 규격 E56-1296에 준거하고 있습니다. MR, MG번호의 풀스케일치에 대한 정도입니다. SCCM, SLM는 가스 유량(mL/min, L/min, at 0℃101.3 kPa)을...

액추에이터:솔레노이드,비통전시 (클로스):C 밸브전폐시유량 유량제어범위 외부Leak Rate 유량설정신호 유량출력신호 디지탈인터페이스 접가스촉부재질 구동전원 신호 표준Fitting 설치자세 매스플로우콘트롤러 매스플로우미터 풀스케일유량 액추에이터:솔레노이드,비통전시 (클로스):C 외부Leak Rate DeviceNet Protocol 밸브전폐시유량 유량제어범위 디지탈인터페이스 접가스부재질 구동전원 표준피팅 설치자세

제품사양일람표 디지털/아날로그 통신모델 네트워크 상태를 나타냅니다 노드 상태를 나타냅니다 아날로그구동시:녹색점등 디지털통신시:녹색점멸 ※경보,제로점보정이상시는적색이 됩니다. 모델 밸브(SEC) O비통전시 오픈 C비통전시 클로스 사용가스종 공백:MR.MG대응으로 가스종을 지정하지 않는 경우 가스이름 내면연마 SUC전모델표준 DeviceNetTM 커넥터위치 DeviceNetTM 만 “S” ”T”의 선택을 할 수 있습니다. T:케이스상부 S:케이스측면 MR/MG 번호 공백:Z5_KVX시리즈에이외 MR.MG번호를 지정해 주세요.자세한 것은 설계일람표을 확인해 주세요. 풀스케일유량 연결 4CR: 1/4 VCR Male Type Fitting 6CR: 3/8 VCR Male Type Fitting 8CR: 1/2 VCR Male Type Fitting 4IS: 1/4 Swagelok Male Type Fitting 6IS: 3/8 Swagelok Male Type Fitting 14C: 1.125 C-seal, i.d. 1/4 14W: 1.125 W-seal, i.d. 1/4 24W: 1.5 W-seal, i.d. 1/4 24S: 1.5 CS-seal, i.d....

외형치수 외형치수 SEC-Z53_X series 95.1 DeviceNetTM 통신모델

Power Supply (PE Series) 외원 제어 신호에 의한 사용예 신호케이블 SC-EAH series 유량설정신호:0 5VDC 유량출력신호:0 5VDC 밸브전압모니터출력 option 사용커넥터D-Subminiature 9콘택트핀커낵터 ※1 SEF에서는 N.C.가 됩니다 ※2핀No.4의전원 COMMON와No.7의신호COMMON는MFC내부 에서는 접속되어 있지 않습니다.핀No.7,8의 신호 COMMON는 MFC내부에서 접속되고 있습니다. 제어유니트:PE-S7에 의한 사용예 신호케이블 SC-EDH series 유량출력 유량설정 밸브전개 전폐신호 DeviceNetTM 통신커넥터 Master DeviceNet™ cable

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High Performance Mass Flow Controller 올바르고 안전하게 사용하기 위해 반드시 취급 설명서를 봐 주세요.